Det er tre typer krystallstrukturer i silisiumnitrid (Si3N4), som er tre faser av α, β og γ. De to fasene a og β er de vanligste formene for Si3N4 og kan fremstilles under normalt trykk. Y-fasen kan bare syntetiseres under høyt trykk og høy temperatur, og dens hardhet kan nå 35GPa.
Sekskantet ß-Si3N4 kan kombineres direkte med elementært silisium og nitrogen for å oppnå silisiumnitrid ved 1300-1400 ℃:
3 Si (s) {{16}} 2 N2 (g) → Si3N4 (s) kan også syntetiseres med diimid SiCl4 (l) + 6 NH3 (g) → Si (NH) 2 (s) + 4 NH4Cl (s) ) ved 0 ℃ Under betingelsene til 3 Si (NH) 2 (s) → Si3N4 (s) + N2 (g) + 3 H2 (g) under 1000 ℃ eller ved karbotermisk reduksjonsreaksjon under 1400-1450 ℃ nitrogen ： 3 Si02 (s) + 6 C (s) + 2 N2 (g) → Si3N4 (s) + 6 CO (g)
